和通常的機械加工一樣，線切割本身的各種誤差以及工件和工具電極的定位、安裝誤差都會影響到加工精度，這里主要討論與電火花加工工藝有關的因素。

    影響其加工精度的主要因素有放電間隙的大小及其一致性、工具電極的損耗及其穩定性。

    1、放電間隙：電火花加工時，工具電極與工件之間存在著一定的放電間隙，如果加工過程中放電間隙能保持不變，則可以通過修正工具電極的尺寸對放電間隙進行補償，以獲得較高的加工精度。然而，放電間隙的大小實際上是變化的，影響著加工精度。除了間隙能否保持一致以外，間隙的大小對線切割加工精度也有影響。尤其是對復雜的加工表面，棱角部位電場強度分布不均，間隙越大，影響越嚴重。因此，為了減少加工誤差，應該采用較低的加工規準，縮小放電間隙，這樣不但能夠提高仿形精度，而且放電間隙愈小，可能產生的間隙變化量也愈小，另外，還必須盡可能使加工過程穩定。電參數對放電間隙的影響是非常顯著的，精加工的放電間隙一般只有0.01mm（單面），而在粗加工時則可達0.5mm以上。

    2、工具電極損耗及穩定性

    這種損耗對尺寸精度和形狀精度都有影響。電火花穿孔加工時，電極可以貫穿型孔而補償電極的損耗，型腔加工時則無法采用這一方法，精密型腔加工時可采用更換電極的方法。

    影響線切割加工形狀的因素還有“二次放電”，二次放電是指已加工表面上由于電蝕產物等的介入而在此進行的非正常放電，集中反映在加工深度方向產生斜度和加工棱角棱邊變鈍方面。

    產生線切割加工斜度的情況，由于工具電極下端部加工時間長，損耗大，而電極入口處的放電間隙則由于電蝕產物的存在，“二次放電”的幾率大而擴大，因而產生了加工斜度。